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时间:2020-01-29 |
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自从2006年ASML向纽约奥尔巴尼大学的纳米级科学与工程学院(CNSE)交付了第一个EUV以来,该公司越来越重视EUV。ASML是半导体光刻领域的主要领导者,并且是EUV光刻的唯一制造商,尼康和佳能是其主要竞争对手。 ASML主要销售光刻系统,以及通过收购Hermes Microsystems而获得的计量/检查线。打仗本领要过硬,1374白小姐网站!我称此部分标题为“分叉的公司”的意思是,该公司已成为“深紫外线/可见光”公司和“扩展紫外线年,红姐开奖现场报码,EUV的收入将占光刻技术总收入的近50%,因为周围的许多生态系统问题已在7nm处得到一定程度的解决,而似乎在5nm处却没有表现出众。正是由于这些原因,EUV花了很长时间(自2006年以来)才达到公司在生产芯片上使用EUV的地步。 ASML是唯一的EUV供应商,因此拥有100%的市场份额。借助Immersion DUV,ASML可与尼康竞争。图1显示,按总出货量(基于91个单元)计,ASML在Immersion DUV市场中占有94.5%的份额。佳能公司没有参与这一领域,ASML在DUV中的地位几乎与在EUV中一样。 但是,随着芯片设计人员将技术节点转移到10nm以下,DUV的购买量正在减少,而EUV的数量却在增加。图2显示了2017-2022年的同比收入。我在2019年12月24日的Seeking Alpha文章中讨论了题为“ KLA:尽管2020年行业增长持平,但仍领先于半导体设备市场 ”的文章: “根据我的分析,估计第四季度半导体设备进口总额为40亿美元,这笔资金用于2020年。我估计另外有16亿美元的设备流向了中国,13亿美元流向了韩国,10亿美元流向了台湾。” 预计EUV收入将在2021年超过DUV沉浸式收入。在2017-2022年期间,随着ASML过渡到具有更高功能和吞吐量的新一代产品,EUV系统的ASP预计将从99,000,000欧元增长至1.45亿欧元,从而降低每像素成本。另一方面,DUV浸没式ASP均保持在5500万欧元,并且应该一直保持到2022年。 图3显示,按季度计算,非EUV毛利润率为50%,而2019年第四季度的毛利润率虽小但仍在增长,仅为33%。随着NXE:3400C平均售价的增加以及出货量的增加,我预计利润率将会增加。 以上是迄今累计发货60台的主要客户。ASML估计,2020年将有35套EUV系统出货,其中30套用于逻辑/代工,5套用于存储器。 EUV将不会用于NAND。3D NAND芯片的尺寸已经从平面2D NAND缩小,并且不需要EUV。这意味着只有三星、SK海力士和美光科技(MU)是DRAM的可行客户。 三星在2019年年中宣布,它将分阶段部署新技术。EUV将首先应用于接触位线的BLP层。位线基本上充当了中央数据通道的作用。通过这样做,芯片制造商可以减少构图步骤,从而从根本上降低成本。对于随后的一代DRAM芯片,如1A-NM,三星将EUV技术应用于四层,然后将五层用于1b芯片。 但是,在其在Conrad Hotel举行的2019年投资者论坛上:“与现有ArF(氟化氩)技术进行的多图案化技术相比,EUV将工艺复杂度降低了50%。图4显示了复杂性降低的图形。这是一个关键问题,将在下一节中详细说明,不仅对DRAM,而且对逻辑也是如此。 表1显示,在2017年第三季度开始在1x nm节点生产五个季度后,美光从2019年第一季度的1y nm节点快速转移到2019年第三季度的1z nm节点。三星和SK海力士都将在2020年开始在1z nm节点生产。 随着美光升级其单个DRAM晶圆厂,其在1Z nm节点的经验使该公司能够跳过其台湾晶圆厂16(RexChip)的1Y nm节点,直接转向1Z nm。 正如我上面所说的,ASML正在分化为一家深紫外/可见光公司和一家扩展紫外公司。该公司的基本原理很清楚,如上图2所示。2017-2022年EUV单位出货量增长强劲,而DUV出货量下降,原因有两个: (1)技术节点正在减少,台积电(、三星和英特尔(INTC.US)作为技术节点过渡的领导者,有足够的财力购买价格为1.25亿美元的EUV系统,而DUV系统的价格为6500万美元。 (2)ASML是唯一一家生产EUV系统的公司,而该公司在DUV销售方面与尼康竞争(如果你认为94.5%的市场份额是竞争的线)。 EUV的好处之一是减少了芯片处理步骤,如图5所示,该图与上面的图4不同但类似。显然,www.9832a.com同一网络下手机网速比别人慢调整这里根据ASML,用EUV代替ARF浸渍将大大减少沉积、蚀刻和计量步骤。谁是沉积、蚀刻和计量的领先供应商?Lam研究公司(LRCX)、应用材料公司(AMAT)和KLA公司(KLAC)(除东京电子株式会社外)根据我们的报告“全球半导体设备:市场、市场份额、市场预测”。 如果我们看下面的图6,使用浸没式DUV(ARF-1)在20nm节点有13个掩模层,每个掩模层使用多个DEP蚀刻步骤。如果我们移动到图表的顶部,在10nm有18个掩模层,沉积-蚀刻步骤的使用增加了50%。 如图左下方所示,在7nm节点进行多层图案化需要27层掩模层,而在7nm节点切换到EUV(右下方)后,只需要14层掩模层,与20nm节点采用DUV的情况类似。 在术语方面,从DUV到EUV的切换,双光刻、双蚀刻(Lele)工艺将被取消,而ARF-I将继续用于自对准双图案化(SADP)和自对准四图案化(SAQP)工艺,最重要的是,将省去一半的处理步骤。 表2显示了沉积和蚀刻行业的顶级公司应用材料公司、Lam研究公司和东京电子公司的收入突破。 从近期来看,应用材料公司对EUV的收入敞口最大,为52%,其次是东京电子公司(Tokyo Electron),为44%,根据Logic和Foundry产生的收入,Lam研究公司为36%。这些收入是基于前四个季度的数据,仅用于设备,而不是服务或备件。 读者必须认识到,上述段落中定义的风险敞口是指如果和/或当DUV被EUV取代时,设备的收入将受到影响的金额。这是一个移动值,取决于给定季度的设备采购。显然,DRAM和NAND风险敞口在过去四个季度有所下降,因为这些行业的设备销售因库存积压、ASP减少和利润率低而减少。 随着DRAM公司三星和SK海力士转向EUV,以及资本支出从周期性低点增加,EUV的长期风险敞口将增加。NAND收入将不会有近期或长期EUV风险敞口。 7nm技术节点是公认的甜蜜点,因为EUV的内在能力超过DUV,EUV将成为DUV浸没的可行替代方案。在65nm,利用DUV浸没,一个掩膜曝光就足够了。Intel在45nm节点使用第二个掩膜进行线nm节点使用第二个掩膜。后来,在20nm节点,双重图案化变得普遍。在14nm节点,使用多个图案化工艺。 7nm的EUV可以使用一个掩模完成,从而减少了处理时间和辅助设备,特别是沉积和蚀刻,如上图4和5所示。 目前只有4家公司在生产7nm产品,正如我上面所说,Globalfoundries已经取消了EUV计划。除了这些公司之外,还有DRAM制造商三星,SK Hynix和美光。 有人可能会说,这只代表了六七家公司。然而,这些公司都是最大的资本支出公司。根据我的分析,这些公司代表了前十大资本支出公司中的前五名。不仅如此,它们的资本支出明显高于排名后五位的公司。 |